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Contents:
  1. 3D IC
    1. 1. Definition: What is 3D IC?
    2. 2. Components and Operating Principles
      1. 2.1 Thermal Management
      2. 2.2 Design Considerations
    3. 3. Related Technologies and Comparison
    4. 4. References
    5. 5. One-line Summary

3D IC

1. Definition: What is 3D IC?

3D IC(Three-Dimensional Integrated Circuit)๋Š” ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์ž๋ฅผ ์ˆ˜์ง์œผ๋กœ ์Œ“์•„ ์˜ฌ๋ ค ํ•˜๋‚˜์˜ ์นฉ์œผ๋กœ ํ†ตํ•ฉํ•œ ๊ธฐ์ˆ ์„ ์˜๋ฏธํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๊ธฐ์ˆ ์€ ์ „ํ†ต์ ์ธ 2D IC ์„ค๊ณ„ ๋ฐฉ์‹์˜ ํ•œ๊ณ„๋ฅผ ๊ทน๋ณตํ•˜๊ณ , ์ง‘์ ๋„๋ฅผ ๋†’์ด๋ฉฐ, ์„ฑ๋Šฅ์„ ํ–ฅ์ƒ์‹œํ‚ค๋Š” ๋ฐ ์ค‘์š”ํ•œ ์—ญํ• ์„ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. 3D IC๋Š” ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ฐœ์˜ ์นฉ์„ ์ˆ˜์ง์œผ๋กœ ์Œ“์•„ ์—ฐ๊ฒฐํ•จ์œผ๋กœ์จ, ์‹ ํ˜ธ ์ „์†ก ๊ฑฐ๋ฆฌ๋ฅผ ์ค„์ด๊ณ , ์ „๋ ฅ ์†Œ๋ชจ๋ฅผ ์ตœ์†Œํ™”ํ•˜๋ฉฐ, ์—ด ๊ด€๋ฆฌ๋ฅผ ๊ฐœ์„ ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ํŠน์„ฑ ๋•๋ถ„์— 3D IC๋Š” ๋ฐ์ดํ„ฐ ์ „์†ก ์†๋„๊ฐ€ ์ค‘์š”ํ•œ ์• ํ”Œ๋ฆฌ์ผ€์ด์…˜, ์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ ์ปดํ“จํŒ…, ๋ชจ๋ฐ”์ผ ๊ธฐ๊ธฐ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  IoT(Internet of Things) ์žฅ์น˜์—์„œ ๋„๋ฆฌ ์‚ฌ์šฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

3D IC์˜ ๊ธฐ์ˆ ์  ํŠน์ง•์œผ๋กœ๋Š” TSV(Through-Silicon Via)์™€ ๊ฐ™์€ ์ˆ˜์ง ์—ฐ๊ฒฐ ๊ธฐ์ˆ ์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. TSV๋Š” ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ๊ธฐํŒ์„ ๊ด€ํ†ตํ•˜์—ฌ ์„œ๋กœ ๋‹ค๋ฅธ ์ธต์˜ ์นฉ ๊ฐ„์˜ ์ „๊ธฐ์  ์—ฐ๊ฒฐ์„ ๊ฐ€๋Šฅํ•˜๊ฒŒ ํ•˜๋ฉฐ, ์ด๋Š” ๋ฐ์ดํ„ฐ ์ „์†ก ์†๋„๋ฅผ ํฌ๊ฒŒ ํ–ฅ์ƒ์‹œํ‚ต๋‹ˆ๋‹ค. ๋˜ํ•œ, 3D IC๋Š” ๋‹ค์–‘ํ•œ ๊ธฐ๋Šฅ์„ ๊ฐ€์ง„ ์นฉ์„ ํ†ตํ•ฉํ•˜์—ฌ ๊ณต๊ฐ„์„ ์ ˆ์•ฝํ•˜๊ณ , ์ œ์กฐ ๊ณต์ •์„ ๋‹จ์ˆœํ™”ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์žฅ์ ์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ธฐ์ˆ ์€ ํŠนํžˆ ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ์™€ ํ”„๋กœ์„ธ์„œ ๊ฐ„์˜ ํ†ตํ•ฉ์— ํšจ๊ณผ์ ์ด๋ฉฐ, ๋ฐ์ดํ„ฐ ์ฒ˜๋ฆฌ ์†๋„์™€ ๋Œ€์—ญํญ์„ ์ฆ๊ฐ€์‹œํ‚ค๋Š” ๋ฐ ๊ธฐ์—ฌํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

3D IC๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•  ๋•Œ์˜ ์ฃผ์š” ๊ณ ๋ ค ์‚ฌํ•ญ์€ ์„ค๊ณ„ ๋ณต์žก์„ฑ, ์—ด ๊ด€๋ฆฌ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  ์ œ์กฐ ๋น„์šฉ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ์š”์†Œ๋“ค์€ 3D IC์˜ ์„ฑ๋Šฅ๊ณผ ์‹ ๋ขฐ์„ฑ์— ํฐ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฏธ์น˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์—, ์„ค๊ณ„์ž๋“ค์€ ์ด๋Ÿฌํ•œ ๋ฌธ์ œ๋ฅผ ํ•ด๊ฒฐํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ ๋‹ค์–‘ํ•œ ๋ฐฉ๋ฒ•์„ ๋ชจ์ƒ‰ํ•ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด, ์—ด ๋ถ„์‚ฐ์„ ์ตœ์ ํ™”ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์—ด ์ „๋„์„ฑ์ด ๋†’์€ ์žฌ๋ฃŒ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜๊ฑฐ๋‚˜, ์นฉ ๊ฐ„์˜ ์ „๋ ฅ ๋ถ„๋ฐฐ๋ฅผ ํšจ์œจ์ ์œผ๋กœ ๊ด€๋ฆฌํ•˜๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•์ด ํ•„์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ธฐ์ˆ ์  ๋„์ „ ๊ณผ์ œ๋ฅผ ๊ทน๋ณตํ•จ์œผ๋กœ์จ 3D IC๋Š” ๋ฏธ๋ž˜์˜ ์ „์ž ๊ธฐ๊ธฐ์—์„œ ์ค‘์š”ํ•œ ์—ญํ• ์„ ํ•  ๊ฒƒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

2. Components and Operating Principles

3D IC์˜ ๊ตฌ์„ฑ ์š”์†Œ์™€ ์ž‘๋™ ์›๋ฆฌ๋Š” ์—ฌ๋Ÿฌ ์ธต์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์ž๊ฐ€ ํ†ตํ•ฉ๋˜์–ด ์„œ๋กœ ์ƒํ˜ธ์ž‘์šฉํ•˜๋Š” ๋ฐฉ์‹์œผ๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์ง‘๋‹ˆ๋‹ค. 3D IC๋Š” ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ๋‹ค์Œ๊ณผ ๊ฐ™์€ ์ฃผ์š” ๊ตฌ์„ฑ ์š”์†Œ๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์ ธ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค: ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ๊ธฐํŒ, TSV, ์ธํ„ฐ์ปค๋„ฅํŠธ, ๋ฐ ํŒจํ‚ค์ง• ๊ธฐ์ˆ .

์ฒซ์งธ, ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ๊ธฐํŒ์€ 3D IC์˜ ๊ธฐ๋ณธ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ˜•์„ฑํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ฐœ์˜ ์นฉ์ด ์ˆ˜์ง์œผ๋กœ ์Œ“์ด๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์—, ๊ฐ ์ธต์˜ ์นฉ์€ ์„œ๋กœ ๋‹ค๋ฅธ ๊ธฐ๋Šฅ์„ ์ˆ˜ํ–‰ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ตฌ์กฐ๋Š” ์ง‘์ ๋„๋ฅผ ๋†’์ด๊ณ , ์ „๋ ฅ ์†Œ๋ชจ๋ฅผ ์ค„์ด๋ฉฐ, ์„ฑ๋Šฅ์„ ํ–ฅ์ƒ์‹œํ‚ค๋Š” ๋ฐ ๊ธฐ์—ฌํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

๋‘˜์งธ, TSV(Through-Silicon Via)๋Š” 3D IC์˜ ํ•ต์‹ฌ ๊ธฐ์ˆ ๋กœ, ์„œ๋กœ ๋‹ค๋ฅธ ์ธต์˜ ์นฉ ๊ฐ„์— ์ „๊ธฐ์  ์—ฐ๊ฒฐ์„ ์ œ๊ณตํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. TSV๋Š” ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ๊ธฐํŒ์„ ๊ด€ํ†ตํ•˜์—ฌ ์‹ ํ˜ธ ์ „์†ก์„ ๊ฐ€๋Šฅํ•˜๊ฒŒ ํ•˜๋ฉฐ, ์ด๋ฅผ ํ†ตํ•ด ๋ฐ์ดํ„ฐ ์ „์†ก ์†๋„๋ฅผ ํฌ๊ฒŒ ํ–ฅ์ƒ์‹œํ‚ต๋‹ˆ๋‹ค. TSV์˜ ์„ค๊ณ„ ๋ฐ ์ œ์กฐ๋Š” 3D IC์˜ ์„ฑ๋Šฅ์— ์ง์ ‘์ ์ธ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฏธ์น˜๋ฏ€๋กœ, ๊ณ ์ •๋ฐ€ ๊ฐ€๊ณต ๊ธฐ์ˆ ์ด ํ•„์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

์…‹์งธ, ์ธํ„ฐ์ปค๋„ฅํŠธ๋Š” ๊ฐ ์ธต์˜ ์นฉ ๊ฐ„์˜ ์‹ ํ˜ธ ์ „์†ก์„ ๋‹ด๋‹นํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. 3D IC์—์„œ๋Š” ์ „ํ†ต์ ์ธ ๊ธˆ์† ๋ฐฐ์„  ๋Œ€์‹ , ๋”์šฑ ํšจ์œจ์ ์ธ ์ „๋„์ฒด๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ์‹ ํ˜ธ ์ „์†ก ์†๋„์™€ ์ „๋ ฅ ์†Œ๋น„๋ฅผ ์ตœ์ ํ™”ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ์ธํ„ฐ์ปค๋„ฅํŠธ ๊ธฐ์ˆ ์€ 3D IC์˜ ์„ฑ๋Šฅ์„ ๊ทน๋Œ€ํ™”ํ•˜๋Š” ๋ฐ ์ค‘์š”ํ•œ ์—ญํ• ์„ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

๋งˆ์ง€๋ง‰์œผ๋กœ, ํŒจํ‚ค์ง• ๊ธฐ์ˆ ์€ 3D IC์˜ ์™ธ๋ถ€ ์—ฐ๊ฒฐ์„ ๋‹ด๋‹นํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. 3D IC์˜ ํŒจํ‚ค์ง•์€ ์—ด ๊ด€๋ฆฌ์™€ ์ „๊ธฐ์  ์‹ ํ˜ธ์˜ ์•ˆ์ •์„ฑ์„ ํ™•๋ณดํ•˜๋Š” ๋ฐ ๋งค์šฐ ์ค‘์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์—ด ๋ถ„์‚ฐ์„ ์ตœ์ ํ™”ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด, ๋‹ค์–‘ํ•œ ํŒจํ‚ค์ง• ๊ธฐ์ˆ ์ด ์‚ฌ์šฉ๋˜๋ฉฐ, ์ด๋Š” 3D IC์˜ ์‹ ๋ขฐ์„ฑ๊ณผ ์„ฑ๋Šฅ์— ์ง์ ‘์ ์ธ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฏธ์นฉ๋‹ˆ๋‹ค.

2.1 Thermal Management

์—ด ๊ด€๋ฆฌ๋Š” 3D IC ์„ค๊ณ„์—์„œ ์ค‘์š”ํ•œ ์š”์†Œ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์—ฌ๋Ÿฌ ์ธต์˜ ์นฉ์ด ์Œ“์—ฌ ์žˆ์„ ๊ฒฝ์šฐ, ์—ด์ด ์ง‘์ค‘๋˜์–ด ์˜จ๋„๊ฐ€ ์ƒ์Šนํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋ฅผ ํ•ด๊ฒฐํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด, ์„ค๊ณ„์ž๋Š” ์—ด ์ „๋„์„ฑ์ด ๋†’์€ ์žฌ๋ฃŒ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜๊ฑฐ๋‚˜, ์—ด ๋ถ„์‚ฐ์„ ์ตœ์ ํ™”ํ•˜๋Š” ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์„ค๊ณ„ํ•ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด, ์—ด์„ ํšจ๊ณผ์ ์œผ๋กœ ๋ฐฉ์ถœํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ํŒจํ‚ค์ง• ๊ธฐ์ˆ ์ด๋‚˜, ๋ƒ‰๊ฐ ์‹œ์Šคํ…œ์„ ํ†ตํ•ฉํ•˜๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

2.2 Design Considerations

3D IC ์„ค๊ณ„ ์‹œ ๊ณ ๋ คํ•ด์•ผ ํ•  ์‚ฌํ•ญ์—๋Š” ์ „๋ ฅ ์†Œ๋ชจ, ์„ฑ๋Šฅ, ์‹ ๋ขฐ์„ฑ ๋“ฑ์ด ํฌํ•จ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์„ค๊ณ„์ž๋Š” ๊ฐ ์ธต ๊ฐ„์˜ ์ „๋ ฅ ๋ถ„๋ฐฐ๋ฅผ ํšจ์œจ์ ์œผ๋กœ ๊ด€๋ฆฌํ•˜๊ณ , ์‹ ํ˜ธ ๊ฐ„์„ญ์„ ์ตœ์†Œํ™”ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ ๋ฐฉ๋ฒ•์„ ๋ชจ์ƒ‰ํ•ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ์š”์†Œ๋“ค์€ 3D IC์˜ ์ „์ฒด ์„ฑ๋Šฅ๊ณผ ์‹ ๋ขฐ์„ฑ์— ํฐ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฏธ์นฉ๋‹ˆ๋‹ค.

3D IC๋Š” ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ด€๋ จ ๊ธฐ์ˆ ๊ณผ ๋น„๊ตํ•  ๋•Œ, ๊ทธ ํŠน์ง•๊ณผ ์žฅ์ , ๋‹จ์ ์„ ๋ช…ํ™•ํžˆ ๊ตฌ๋ถ„ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ „ํ†ต์ ์ธ 2D IC์™€ ๋น„๊ตํ–ˆ์„ ๋•Œ, 3D IC๋Š” ๊ณต๊ฐ„ ํšจ์œจ์„ฑ๊ณผ ์„ฑ๋Šฅ ๋ฉด์—์„œ ์šฐ์ˆ˜ํ•œ ์ด์ ์„ ์ œ๊ณตํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. 2D IC๋Š” ์ˆ˜ํ‰์  ๋ฐฐ์น˜์— ์˜์กดํ•˜๋ฏ€๋กœ, ์ง‘์ ๋„๊ฐ€ ์ œํ•œ์ ์ด๋ฉฐ, ์‹ ํ˜ธ ์ „์†ก ๊ฑฐ๋ฆฌ๊ฐ€ ๊ธธ์–ด์ ธ ์ „๋ ฅ ์†Œ๋ชจ๊ฐ€ ์ฆ๊ฐ€ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋ฐ˜๋ฉด, 3D IC๋Š” ์ˆ˜์ง์  ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ฑ„ํƒํ•จ์œผ๋กœ์จ ์ด๋Ÿฌํ•œ ํ•œ๊ณ„๋ฅผ ๊ทน๋ณตํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

๋˜ํ•œ, 3D IC๋Š” ์‹œ์Šคํ…œ ์˜จ ์นฉ(System on Chip, SoC) ๊ธฐ์ˆ ๊ณผ๋„ ๋น„๊ต๋  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. SoC๋Š” ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ธฐ๋Šฅ์„ ํ•˜๋‚˜์˜ ์นฉ์— ํ†ตํ•ฉํ•˜๋Š” ๊ธฐ์ˆ ๋กœ, ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ 2D ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ํ•˜์ง€๋งŒ, 3D IC๋Š” ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ฐœ์˜ SoC๋ฅผ ์ˆ˜์ง์œผ๋กœ ์Œ“์•„ ํ†ตํ•ฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด, ๋”์šฑ ๋†’์€ ์„ฑ๋Šฅ๊ณผ ์ง‘์ ๋„๋ฅผ ์ œ๊ณตํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ธฐ๋Šฅ์€ ํŠนํžˆ ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ ์ปดํ“จํŒ… ๋ฐ ๋ฐ์ดํ„ฐ ์„ผํ„ฐ์™€ ๊ฐ™์€ ๋ถ„์•ผ์—์„œ ์ค‘์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

3D IC๋Š” ๋˜ํ•œ MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems) ๊ธฐ์ˆ ๊ณผ๋„ ๊ด€๋ จ์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. MEMS๋Š” ๋ฏธ์„ธ ์ „์ž ๊ธฐ๊ณ„ ์‹œ์Šคํ…œ์œผ๋กœ, ์„ผ์„œ ๋ฐ ์•ก์ถ”์—์ดํ„ฐ๋ฅผ ํฌํ•จํ•œ ๋‹ค์–‘ํ•œ ์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. 3D IC์™€ MEMS์˜ ํ†ตํ•ฉ์€ ์ƒˆ๋กœ์šด ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์„ ์—ด์–ด์ฃผ๋ฉฐ, ๋”์šฑ ๋ณต์žกํ•œ ์‹œ์Šคํ…œ์„ ๊ตฌ์ถ•ํ•˜๋Š” ๋ฐ ๊ธฐ์—ฌํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

์‹ค์ œ ์‚ฌ๋ก€๋กœ๋Š”, 3D IC๋ฅผ ํ™œ์šฉํ•œ ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ GPU(Graphics Processing Unit)์™€ CPU(Central Processing Unit)์˜ ํ†ตํ•ฉ์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ํ†ตํ•ฉ์€ ๋ฐ์ดํ„ฐ ์ „์†ก ์†๋„๋ฅผ ํฌ๊ฒŒ ํ–ฅ์ƒ์‹œํ‚ค๊ณ , ์ „๋ ฅ ์†Œ๋ชจ๋ฅผ ์ค„์ด๋ฉฐ, ์‹œ์Šคํ…œ์˜ ์ „๋ฐ˜์ ์ธ ์„ฑ๋Šฅ์„ ํ–ฅ์ƒ์‹œํ‚ค๋Š” ๋ฐ ๊ธฐ์—ฌํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

4. References

  • International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS)
  • IEEE Solid-State Circuits Society
  • Semiconductor Industry Association (SIA)
  • Various academic journals on VLSI and semiconductor technology

5. One-line Summary

3D IC๋Š” ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์ž๋ฅผ ์ˆ˜์ง์œผ๋กœ ์Œ“์•„ ํ†ตํ•ฉํ•จ์œผ๋กœ์จ ์„ฑ๋Šฅ์„ ๊ทน๋Œ€ํ™”ํ•˜๊ณ  ์ „๋ ฅ ์†Œ๋ชจ๋ฅผ ์ตœ์†Œํ™”ํ•˜๋Š” ํ˜์‹ ์ ์ธ ๊ธฐ์ˆ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.