VLSI Wiki | Chase Na

VLSI Wiki | Chase Na

Semiconductor Engineer & Tech Expert

Contact

โœ‰๏ธ gc@vlsi.kr

Connect

Contents:
  1. Parasitic Extraction
    1. 1. Definition: What is Parasitic Extraction?
    2. 2. Components and Operating Principles
      1. 2.1 (Optional) Subsections
    3. 3. Related Technologies and Comparison
    4. 4. References
    5. 5. One-line Summary

Parasitic Extraction

1. Definition: What is Parasitic Extraction?

Parasitic Extraction๋Š” ๋””์ง€ํ„ธ ํšŒ๋กœ ์„ค๊ณ„์—์„œ ์ค‘์š”ํ•œ ๊ณผ์ •์œผ๋กœ, ํšŒ๋กœ์˜ ๋ฌผ๋ฆฌ์  ๊ตฌํ˜„์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๋น„์›ํ•˜๋Š” ์ „๊ธฐ์  ํŠน์„ฑ(์ฆ‰, ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ)์„ ๋ถ„์„ํ•˜๊ณ  ์ถ”์ถœํ•˜๋Š” ๊ธฐ์ˆ ์„ ์˜๋ฏธํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ๋Š” ํšŒ๋กœ์˜ ์„ฑ๋Šฅ, ํƒ€์ด๋ฐ, ์ „๋ ฅ ์†Œ๋น„ ๋ฐ ์‹ ํ˜ธ ๋ฌด๊ฒฐ์„ฑ์— ์ค‘๋Œ€ํ•œ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฏธ์น  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. Parasitic Extraction์€ ์ฃผ๋กœ VLSI(Very Large Scale Integration) ์„ค๊ณ„์—์„œ ํ•„์ˆ˜์ ์ธ ๋‹จ๊ณ„๋กœ, ์„ค๊ณ„์ž๊ฐ€ ํšŒ๋กœ์˜ ์‹ค์ œ ๋™์ž‘์„ ๋ณด๋‹ค ์ •ํ™•ํ•˜๊ฒŒ ์˜ˆ์ธกํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋„๋ก ๋•์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

Parasitic Extraction์˜ ์ค‘์š”์„ฑ์€ ๋‹ค์Œ๊ณผ ๊ฐ™์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ฒซ์งธ, ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ๋Š” ํšŒ๋กœ์˜ ๋™์ž‘์—์„œ ์˜ˆ๊ธฐ์น˜ ์•Š์€ ์ง€์—ฐ์„ ์ดˆ๋ž˜ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ์ด๋Š” ํด๋ก ์ฃผํŒŒ์ˆ˜ ๋ฐ ํƒ€์ด๋ฐ ์š”๊ตฌ ์‚ฌํ•ญ์„ ์ถฉ์กฑํ•˜๋Š” ๋ฐ ๋ฌธ์ œ๋ฅผ ์ผ์œผํ‚ฌ ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋‘˜์งธ, ๊ธฐ์ƒ ์ปคํŒจ์‹œํ„ด์Šค์™€ ์ธ๋•ํ„ด์Šค๋Š” ์‹ ํ˜ธ์˜ ์ „ํŒŒ ์†๋„์— ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฏธ์ณ ์‹ ํ˜ธ์˜ ์™œ๊ณก์„ ์ดˆ๋ž˜ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์…‹์งธ, ์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ๋Š” ์ „๋ ฅ ์†Œ๋น„๋ฅผ ์ฆ๊ฐ€์‹œํ‚ค๊ณ , ์ด๋Š” ๋ชจ๋ฐ”์ผ ๊ธฐ๊ธฐ์™€ ๊ฐ™์€ ์ „๋ ฅ ์ œํ•œ ํ™˜๊ฒฝ์—์„œ ๋ฌธ์ œ๋ฅผ ์ผ์œผํ‚ฌ ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋”ฐ๋ผ์„œ Parasitic Extraction์€ ํšŒ๋กœ ์„ค๊ณ„ ๊ณผ์ •์—์„œ ํ•„์ˆ˜์ ์œผ๋กœ ์ˆ˜ํ–‰๋˜์–ด์•ผ ํ•˜๋Š” ๋‹จ๊ณ„์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

์ด ๊ณผ์ •์€ ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ CAD(Computer-Aided Design) ๋„๊ตฌ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ์ˆ˜ํ–‰๋˜๋ฉฐ, ํšŒ๋กœ์˜ ๋ ˆ์ด์•„์›ƒ ์ •๋ณด๋ฅผ ๋ฐ”ํƒ•์œผ๋กœ ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ๋ฅผ ์ˆ˜์น˜์ ์œผ๋กœ ๊ณ„์‚ฐํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ณ„์‚ฐ์€ ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ๊ฐ€ ํšŒ๋กœ์˜ ์„ฑ๋Šฅ์— ๋ฏธ์น˜๋Š” ์˜ํ–ฅ์„ ์˜ˆ์ธกํ•˜๊ณ  ์ตœ์ ํ™”ํ•˜๋Š” ๋ฐ ์‚ฌ์šฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. Parasitic Extraction์˜ ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ํšŒ๋กœ์˜ SPICE(Simulation Program with Integrated Circuit Emphasis) ๋ชจ๋ธ์— ํ†ตํ•ฉ๋˜์–ด, ํ›„์† ๋™์  ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

2. Components and Operating Principles

Parasitic Extraction์˜ ๊ตฌ์„ฑ ์š”์†Œ์™€ ์ž‘๋™ ์›๋ฆฌ๋Š” ๋งค์šฐ ์ •๊ตํ•˜๋ฉฐ, ์—ฌ๋Ÿฌ ๋‹จ๊ณ„๋กœ ๋‚˜๋‰˜์–ด์ ธ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๊ณผ์ •์€ ์ฃผ๋กœ ๋ ˆ์ด์•„์›ƒ ์ •๋ณด์˜ ์ˆ˜์ง‘, ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ์˜ ๋ชจ๋ธ๋ง ๋ฐ ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜์œผ๋กœ ๊ตฌ์„ฑ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

์ฒซ ๋ฒˆ์งธ ๋‹จ๊ณ„๋Š” ๋ ˆ์ด์•„์›ƒ ์ •๋ณด์˜ ์ˆ˜์ง‘์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๋‹จ๊ณ„์—์„œ๋Š” ํšŒ๋กœ์˜ ๋ฌผ๋ฆฌ์  ๋ ˆ์ด์•„์›ƒ์„ ๋ถ„์„ํ•˜์—ฌ ๊ฐ ๊ตฌ์„ฑ ์š”์†Œ ๊ฐ„์˜ ๊ฑฐ๋ฆฌ, ๋ฐฐ์น˜ ๋ฐ ์—ฐ๊ฒฐ ์ƒํƒœ๋ฅผ ํŒŒ์•…ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ์ •๋ณด๋Š” ๊ธฐ์ƒ ์ปคํŒจ์‹œํ„ด์Šค, ์ธ๋•ํ„ด์Šค ๋ฐ ์ €ํ•ญ์„ ๊ณ„์‚ฐํ•˜๋Š” ๋ฐ ํ•„์ˆ˜์ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๋ ˆ์ด์•„์›ƒ ์ •๋ณด๋Š” ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ GDSII ๋˜๋Š” OASIS ํ˜•์‹์œผ๋กœ ์ €์žฅ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

๋‘ ๋ฒˆ์งธ ๋‹จ๊ณ„๋Š” ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ์˜ ๋ชจ๋ธ๋ง์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๊ณผ์ •์—์„œ๋Š” ์ˆ˜์ง‘๋œ ๋ ˆ์ด์•„์›ƒ ์ •๋ณด๋ฅผ ๋ฐ”ํƒ•์œผ๋กœ ๊ธฐ์ƒ ์ปคํŒจ์‹œํ„ด์Šค, ์ธ๋•ํ„ด์Šค ๋ฐ ์ €ํ•ญ์„ ์ˆ˜ํ•™์ ์œผ๋กœ ๋ชจ๋ธ๋งํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๊ธฐ์ƒ ์ปคํŒจ์‹œํ„ด์Šค๋Š” ์ฃผ๋กœ ์ธ์ ‘ํ•œ ๋„์ฒด ๊ฐ„์˜ ์ „๊ธฐ์  ์œ ๋„์— ์˜ํ•ด ๋ฐœ์ƒํ•˜๋ฉฐ, ๊ธฐ์ƒ ์ธ๋•ํ„ด์Šค๋Š” ๋„์ฒด์˜ ๊ธธ์ด์™€ ํšŒ๋กœ์˜ ๋ฐฐ์น˜์— ๋”ฐ๋ผ ๊ฒฐ์ •๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋“ค ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ๋Š” ํšŒ๋กœ์˜ ๋™์ž‘์— ์ค‘๋Œ€ํ•œ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฏธ์น˜๋ฏ€๋กœ, ์ •ํ™•ํ•œ ๋ชจ๋ธ๋ง์ด ํ•„์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

์„ธ ๋ฒˆ์งธ ๋‹จ๊ณ„๋Š” ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๋ชจ๋ธ๋ง๋œ ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ๋Š” SPICE์™€ ๊ฐ™์€ ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜ ๋„๊ตฌ์— ํ†ตํ•ฉ๋˜์–ด, ํšŒ๋กœ์˜ ๋™์ž‘์„ ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๋‹จ๊ณ„์—์„œ๋Š” ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ๊ฐ€ ํšŒ๋กœ์˜ ์„ฑ๋Šฅ์— ๋ฏธ์น˜๋Š” ์˜ํ–ฅ์„ ๋ถ„์„ํ•˜์—ฌ, ์„ค๊ณ„์ž๊ฐ€ ํ•„์š”ํ•œ ์กฐ์ •์„ ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋„๋ก ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ตœ์ ํ™” ๊ณผ์ •์—์„œ๋Š” ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ๋ฅผ ์ตœ์†Œํ™”ํ•˜๊ฑฐ๋‚˜, ํšŒ๋กœ์˜ ๋ฐฐ์น˜๋ฅผ ์žฌ์กฐ์ •ํ•˜์—ฌ ์„ฑ๋Šฅ์„ ํ–ฅ์ƒ์‹œํ‚ฌ ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ณผ์ •์€ ๊ฐ๊ธฐ ๋‹ค๋ฅธ CAD ๋„๊ตฌ์™€ ์•Œ๊ณ ๋ฆฌ์ฆ˜์„ ํ†ตํ•ด ์ˆ˜ํ–‰๋˜๋ฉฐ, ๊ฐ ๋„๊ตฌ๋Š” ๊ณ ์œ ํ•œ ๊ธฐ๋ฒ•๊ณผ ๋ฐฉ๋ฒ•๋ก ์„ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด, FastCap๊ณผ ๊ฐ™์€ ๋„๊ตฌ๋Š” 3D ๊ธฐ์ƒ ์ปคํŒจ์‹œํ„ด์Šค๋ฅผ ๋น ๋ฅด๊ฒŒ ๊ณ„์‚ฐํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์•Œ๊ณ ๋ฆฌ์ฆ˜์„ ์‚ฌ์šฉํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋˜ํ•œ, ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ์˜ ์ถ”์ถœ์€ ํšŒ๋กœ์˜ ๋ณต์žก์„ฑ์— ๋”ฐ๋ผ ๋‹ค๋ฅด๊ฒŒ ์ ‘๊ทผํ•ด์•ผ ํ•˜๋ฉฐ, ๋Œ€๊ทœ๋ชจ VLSI ์„ค๊ณ„์—์„œ๋Š” ๋”์šฑ ์ •๊ตํ•œ ๋ฐฉ๋ฒ•์ด ์š”๊ตฌ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

2.1 (Optional) Subsections

2.1.1 Layout Extraction

Layout Extraction์€ ํšŒ๋กœ์˜ ๋ ˆ์ด์•„์›ƒ์—์„œ ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ๋ฅผ ์ถ”์ถœํ•˜๋Š” ์ฒซ ๋ฒˆ์งธ ๋‹จ๊ณ„์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๊ณผ์ •์—์„œ๋Š” ๋„์ฒด ๊ฐ„์˜ ๊ฑฐ๋ฆฌ, ํฌ๊ธฐ ๋ฐ ๋ฐฐ์น˜ ์ •๋ณด๋ฅผ ์ˆ˜์ง‘ํ•˜์—ฌ ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ์˜ ์ „๊ธฐ์  ํŠน์„ฑ์„ ๊ณ„์‚ฐํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

2.1.2 Parasitic Modeling

Parasitic Modeling์€ ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ๋ฅผ ์ˆ˜ํ•™์ ์œผ๋กœ ํ‘œํ˜„ํ•˜๋Š” ๊ณผ์ •์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๋‹จ๊ณ„์—์„œ๋Š” ๊ธฐ์ƒ ์ปคํŒจ์‹œํ„ด์Šค์™€ ์ธ๋•ํ„ด์Šค๋ฅผ ์ •์˜ํ•˜๊ณ , ์ด๋ฅผ ํ†ตํ•ด ํšŒ๋กœ์˜ ๋™์ž‘์„ ์˜ˆ์ธกํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋„๋ก ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

2.1.3 Simulation Integration

Simulation Integration์€ ๋ชจ๋ธ๋ง๋œ ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ๋ฅผ SPICE์™€ ๊ฐ™์€ ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜ ๋„๊ตฌ์— ํ†ตํ•ฉํ•˜๋Š” ๊ณผ์ •์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๋‹จ๊ณ„์—์„œ๋Š” ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ๊ฐ€ ํšŒ๋กœ์˜ ์„ฑ๋Šฅ์— ๋ฏธ์น˜๋Š” ์˜ํ–ฅ์„ ๋ถ„์„ํ•˜์—ฌ ์ตœ์ ํ™”๋ฅผ ์œ„ํ•œ ๋ฐ์ดํ„ฐ๋ฅผ ์ œ๊ณตํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

Parasitic Extraction์€ ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ด€๋ จ ๊ธฐ์ˆ  ๋ฐ ๋ฐฉ๋ฒ•๋ก ๊ณผ ๋น„๊ต๋  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋“ค ๊ธฐ์ˆ ์€ ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ์˜ ์˜ํ–ฅ์„ ๋‹ค๋ฃจ๋Š” ๋ฐฉ์‹์—์„œ ์ฐจ์ด๋ฅผ ๋ณด์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

์ฒซ์งธ, RC Extraction์€ ๊ธฐ์ƒ ์ €ํ•ญ๊ณผ ์ปคํŒจ์‹œํ„ด์Šค๋ฅผ ์ถ”์ถœํ•˜๋Š” ๋ฐ ์ค‘์ ์„ ๋‘” ๊ธฐ์ˆ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. RC Extraction์€ Parasitic Extraction์˜ ํ•œ ๋ถ€๋ถ„์œผ๋กœ ๊ฐ„์ฃผ๋  ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ํšŒ๋กœ์˜ ํƒ€์ด๋ฐ ๋ถ„์„ ๋ฐ ์ „๋ ฅ ์†Œ๋น„ ์˜ˆ์ธก์„ ์œ„ํ•ด ํ•„์ˆ˜์ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ RC Extraction์€ ๊ธฐ์ƒ ์ธ๋•ํ„ด์Šค๋ฅผ ๊ณ ๋ คํ•˜์ง€ ์•Š๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๊ณ ์† ํšŒ๋กœ์—์„œ๋Š” ํ•œ๊ณ„๊ฐ€ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

๋‘˜์งธ, Signal Integrity Analysis๋Š” ์‹ ํ˜ธ์˜ ๋ฌด๊ฒฐ์„ฑ์„ ํ‰๊ฐ€ํ•˜๋Š” ๊ณผ์ •์œผ๋กœ, Parasitic Extraction์˜ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ฐ”ํƒ•์œผ๋กœ ์ˆ˜ํ–‰๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. Signal Integrity Analysis๋Š” ๊ธฐ์ƒ ์š”์†Œ๊ฐ€ ์‹ ํ˜ธ์˜ ์™œ๊ณก ๋ฐ ์ง€์—ฐ์— ๋ฏธ์น˜๋Š” ์˜ํ–ฅ์„ ๋ถ„์„ํ•˜์—ฌ, ์„ค๊ณ„์ž๊ฐ€ ํšŒ๋กœ์˜ ์„ฑ๋Šฅ์„ ๊ฐœ์„ ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋„๋ก ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๊ณผ์ •์€ ๊ณ ์† ๋””์ง€ํ„ธ ํšŒ๋กœ์—์„œ ํŠนํžˆ ์ค‘์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

์…‹์งธ, Timing Analysis๋Š” ํšŒ๋กœ์˜ ํƒ€์ด๋ฐ ํŠน์„ฑ์„ ํ‰๊ฐ€ํ•˜๋Š” ๊ณผ์ •์ž…๋‹ˆ๋‹ค. Parasitic Extraction์˜ ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” Timing Analysis์— ํ†ตํ•ฉ๋˜์–ด, ํšŒ๋กœ์˜ ํด๋ก ์ฃผํŒŒ์ˆ˜ ๋ฐ ํƒ€์ด๋ฐ ์š”๊ตฌ ์‚ฌํ•ญ์„ ์ถฉ์กฑํ•˜๋Š”์ง€ ์—ฌ๋ถ€๋ฅผ ํ‰๊ฐ€ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. Timing Analysis๋Š” ํšŒ๋กœ์˜ ์„ฑ๋Šฅ์„ ์ตœ์ ํ™”ํ•˜๋Š” ๋ฐ ํ•„์ˆ˜์ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ธฐ์ˆ ๋“ค์€ ๊ฐ๊ฐ์˜ ๋ชฉ์ ๊ณผ ๋ฐฉ๋ฒ•๋ก ์ด ๋‹ค๋ฅด์ง€๋งŒ, Parasitic Extraction๊ณผ ๋ฐ€์ ‘ํ•˜๊ฒŒ ์—ฐ๊ฒฐ๋˜์–ด ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ํšŒ๋กœ ์„ค๊ณ„์˜ ์ „๋ฐ˜์ ์ธ ์„ฑ๋Šฅ์„ ํ–ฅ์ƒ์‹œํ‚ค๋Š” ๋ฐ ๊ธฐ์—ฌํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด, ๊ณ ์† ๋””์ง€ํ„ธ ํšŒ๋กœ ์„ค๊ณ„์—์„œ๋Š” Parasitic Extraction๊ณผ Signal Integrity Analysis๋ฅผ ํ•จ๊ป˜ ์ˆ˜ํ–‰ํ•˜์—ฌ ์‹ ํ˜ธ์˜ ์™œ๊ณก์„ ์ตœ์†Œํ™”ํ•˜๊ณ , ์ตœ์ ์˜ ํƒ€์ด๋ฐ์„ ํ™•๋ณดํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

4. References

  • Cadence Design Systems
  • Synopsys
  • Mentor Graphics
  • IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers)
  • ACM (Association for Computing Machinery)

5. One-line Summary

Parasitic Extraction์€ ๋””์ง€ํ„ธ ํšŒ๋กœ ์„ค๊ณ„์—์„œ ๊ธฐ์ƒ ์ €ํ•ญ, ์ปคํŒจ์‹œํ„ด์Šค ๋ฐ ์ธ๋•ํ„ด์Šค๋ฅผ ๋ถ„์„ํ•˜์—ฌ ํšŒ๋กœ ์„ฑ๋Šฅ์„ ์ตœ์ ํ™”ํ•˜๋Š” ํ•„์ˆ˜์ ์ธ ๊ณผ์ •์ž…๋‹ˆ๋‹ค.