Analysis
Nguyên mẫu nguồn sáng EUV của Trung Quốc — đằng sau tuyên bố nội địa hóa 90%
Startup Trung Quốc Langdao Silex trưng bày nguyên mẫu nguồn sáng EUV. Nội địa hóa 90% là tuyên bố của chính công ty, và 15W còn cách hàng trăm watt mà sản xuất EUV cần hơn 10 lần. Nguồn sáng ≠ máy quang khắc.