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BSPDN(후면 전원 공급)이란? Intel 18A·TSMC A16이 베팅한 핵심 기술

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BSPDN(후면 전원 공급)이란? Intel 18A·TSMC A16이 베팅한 핵심 기술

2nm 이하에서 신호선과 전원선이 같은 BEOL 자원을 두고 충돌하는 문제는 더 이상 metal stack을 늘려 풀 수 없는 단계에 도달했습니다. BSPDN(Backside Power Delivery Network)은 웨이퍼를 뒤집어 뒷면에 전원망을 따로 형성해 IR drop·셀 밀도·동작 주파수를 동시에 개선하는 구조적 해법입니다. Intel·TSMC·Samsung이 서로 다른 일정과 구현으로 베팅하고 있는 이유를 정리합니다.

By Chase Na - Semiconductor Design Engineer
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